製作事例

・半導体ウェット洗浄装置設計(200mm、300mm)

・半導体枚葉装置設計(200mm、300mm、450mm)

・太陽電池製造装置設計(オート、マニュアル)

・石英管洗浄装置設計

・半導体製造装置付帯設備設計製作(無機薬液供給)

・半導体製造装置付帯設備設計製作(有機薬液供給)

・半導体製造装置付帯設備設計製作(薬液循環)

・半導体製造装置付帯設備設計製作(キャニスターユニット)

・ドラフトチャンバー設計製作

・半導体製造装置向けメカ設計製作

・半導体製造後工程用テープマウンタ-設計

・一般産業用コンベア設計製作

・薬液リサイクル設備設計製作及び工事管理

・薬品メーカー向けサニタリー配管設計

・半導体製造装置点検、修理、改造

・樹脂成型用冶具設計製作

・その他多数